Kuna globaalne pooljuhtprotsess liigub 3nm/2nm täiustatud sõlmede poole, on täppis-titaanmaterjalid (ASTM B265/B348, 1/2/5 puhtusastmega kõrge -puhtusastmega titaan ja titaanisulamid) üle minemas "abimaterjalidelt" võtmetähtsusega strateegilisteks materjalideks, nagu näiteks ultra8. puhtus, üli-väikesed lisandid, tugev termiline stabiilsus, korrosioonikindlus ja mitte-magnetilised omadused. Turu tähelepanu ja nõudlus kasvavad sünkroonselt.
Põhidraiver: täiustatud protsessid sunnivad materjali uuendama
Täiustatud pooljuhtprotsessid (5 nm ja alla selle) nõuavad materjalidele kolme peamist põhinõuet: nanomeetri täpsus, aatomitaseme puhtus ja äärmine keskkonnastabiilsus:
-Kõrge puhtusastmega titaanist sihtmaterjal (1. klass, puhtus 99,999%/5N või suurem): PVD pihustussüdamiku materjal, mida kasutatakse vasest ühenduse tõkkekihis, kontaktpistikus, et vältida vase aatomite difusiooni ränivahvlite saastumist, mis määrab otseselt kiibi saagise ja jõudluse30, sobib kogu protsessi jaoks.
-Täpsed konstruktsioonikomponendid (klass 2/5): litograafiamasina töölaud, söövitusmasina kamber, vaakumäärik, vahvli robotvars jne, madala soojuspaisumise koefitsiendiga (8,6 × 10 ⁻⁶/kraad) ja temperatuuri kõikumisega, mis tagab ainult 1/3 alumiiniumitaseme deformatsiooni.
-Korrosioonikindlad komponendid (7. klass): vastupidav tugevale happe-/halogeenkorrosioonile märgsöövitus- ja puhastusseadmetes, ilma metallisademeteta, sobib kõrgvaakumi ja tugeva plasma äärmuslikes töötingimustes.
Ameerika standardsete titaanmaterjalide peamised eelised
1. Ülikõrge puhtusastmega + ülimalt{2}}madala lisandisisaldusega: Ameerika standard 1. klassi kõrge-puhtusastmega titaan kontrollitavate hapniku/lämmastiku/süsiniku lisanditega<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Soojusstabiilsus+mõõtmete täpsus: madal soojusjuhtivus (21,9 W/(m · K)), väike soojuspaisumise koefitsient, tolerants kuni ± 0,005 mm, pinna siledus Ra Vähem kui 0,4 μm või sellega võrdne, sobib nanomõõtmeliseks montaažiks ja vaakumtihendiks.
3. Korrosioonikindlus+mitte-magnet+madal gaasieraldus: looduslik oksiidikiht ise-paranev, vastupidav Cl ₂/F ₂/tugeva happe korrosioonile; Mittemagnetilised ja täppisahelaid mitte segavad; Õhu vabanemise kiirus on ülimalt -kõrgvaakumis (UHV) äärmiselt madal, tagades kambri puhtuse.
4. Kerge kaal ja kõrge tugevus: tihedus 4,51 g/cm³ (40% kergem kui roostevaba teras), 5. klassi tõmbetugevus 930 MPa või suurem, eritugevus kaks korda suurem kui roostevaba teras, sobib suure kiirusega liikuvate osade kergekaalunõuetele.
Põhirakenduse stsenaariumid
-Kõrge puhtusastmega titaanist sihtmaterjal (1. klass): PVD pihustussadestamine, mida kasutatakse loogika-/salvestuskiibi tõkkekihis ja liimikihis, globaalse turu maht 2024. aastal 1,87 miljardit USA dollarit ja CAGR 9,3% aastatel 2026–2030.
-Vakumkamber/äärik (2. klass): vaakumsüsteem söövitus- ja sadestamisseadmete jaoks, mis on vastupidav kõrgele rõhule, vähene gaasieraldus ja usaldusväärne tihendus.
-Täpne robotkäe/otsa efektor (5. klass): vahvliülekanne, kerge ja kõrge{2}}tugevus, täpne positsioneerimine ja osakeste eemaldamine.
-Korrosioonikindel vooder/kinnitus (klass 7): märgtöötlusseadmed, mis on vastupidavad tugevatele hapetele, nagu HF/HCl, pikendavad seadmete eluiga ja vähendavad hoolduskulusid.
Turutrend: kodumaine asendus+tehnoloogiline läbimurre
Globaalse pooljuhtide võimsuse suurenemine (eriti Mandri-Hiinas) on põhjustanud täppis-titaanmaterjalide nõudluse kiire kasvu. 2023. aastal ületab Hiina pooljuhtide titaanist täppisosade turu suurus 3 miljardit jüaani ning aastane kasvumäär on üle 25%. Ameerika standardklassi 1/2/5 täpsete titaanmaterjalide (sealhulgas 0,05 mm üliõhuke titaanfoolium, kõrge-puhtusega sihtmaterjalid ja täpsed konstruktsioonikomponendid) stabiilne masstootmine on saavutatud, tolerantsid ja puhtus on saavutanud rahvusvahelise kõrgtaseme, aidates pooljuhtide tööstusahelal sõltumatult juhtida.
Täiustatud protsesside ja kaherattaveo kodumaise asendamise käigus on Ameerika standarditele vastavatest täppis-titaanmaterjalidest saanud pooljuhtide tööstuse uuendamise põhitoetus. Tulevikus jätkavad need läbimurret kõrgema puhtuse (6N), õhemate spetsifikatsioonide (vähem kui 0,05 mm või sellega võrdne) ja täpsema töötlemise (± 0,002 mm) poole.
Küsi hinnapakkumist
Whatsapp:+8613571718779
